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用于曝光机的UV－LED混合波长光源系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201610194248.5
申请日：
2016-03-30
公开(公告)号：
CN105629680A
公开(公告)日：
2016-06-01
发明(设计)人：
张文明
汤正光
申请人：
申请人地址：
215300 江苏省苏州市昆山市开发区青阳路285号6号3楼
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-06-01 | 公开 | 公开 |
| 2016-06-29 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101667887583 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2016101942485 申请日:20160330 |
| 2018-05-25 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F 7/20 申请公布日:20160601 |