压电式微加工超声换能器及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710400836.4

申请日：

2017-05-31

公开(公告)号：

CN108246593A

公开(公告)日：

2018-07-06

发明(设计)人：

F·方希里诺 F·F·维拉 A·迪马特奥

申请人：

申请人地址：

意大利阿格拉布里安扎

IPC主分类号：

B06B106

IPC分类号：

H01L41083 H01L4131

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

王茂华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-07-31	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B06B 1/06 申请日:20170531
2021-02-09	授权	授权
2018-07-06	公开	公开

共 50 条

[1]

压电式微加工超声换能器(PMUT) [P].

埃尔德温·NG ;

朱丽叶斯·明林·蔡 ;

尼克尔·艾佩特 .

中国专利 :CN109196671A ,2019-01-11

[2]

压电式微加工超声换能器和电子系统 [P].

F·方希里诺 ;

F·F·维拉 ;

A·迪马特奥 .

中国专利 :CN207287973U ,2018-05-01

[3]

压电式微机械超声换能器 [P].

F·韦尔切西 ;

A·达内伊 ;

G·阿勒加托 ;

G·加特瑞 ;

R·卡姆佩德利 .

中国专利 :CN113351458A ,2021-09-07

[4]

压电式微机械超声换能器 [P].

D·朱斯蒂 ;

F·夸利亚 ;

M·费雷拉 .

中国专利 :CN114377931A ,2022-04-22

[5]

压电式微机械超声换能器及其制备方法 [P].

饶晗 ;

张红坤 ;

解婧 ;

邢建鹏 ;

李超波 .

中国专利 :CN118513225A ,2024-08-20

[6]

双频压电式微机械超声换能器 [P].

吴丽翔 .

中国专利 :CN210816106U ,2020-06-23

[7]

电容式微加工超声换能器及其制造方法 [P].

沈东植 ;

洪硕佑 ;

郑锡焕 ;

金昌桢 .

中国专利 :CN104701452A ,2015-06-10

[8]

压电超声换能器及其制造方法 [P].

黄景泽 ;

程泰毅 .

中国专利 :CN111013993B ,2020-04-17

[9]

压电式微机械超声换能器芯片结构及超声换能器阵列结构 [P].

崔丹凤 ;

臧俊斌 ;

巫春生 ;

刘丹 .

中国专利 :CN221657067U ,2024-09-06

[10]

一种压电式微加工换能器 [P].

彭珏 .

中国专利 :CN102172575A ,2011-09-07

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