一种晶圆及蓝宝石基片切边检测装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810565581.1

申请日：

2018-06-04

公开(公告)号：

CN108520861A

公开(公告)日：

2018-09-11

发明(设计)人：

刘志强夏伟陈再红李正贤丁天祥

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区李时珍路396号2幢208-209室

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2166

代理机构：

上海申新律师事务所 31272

代理人：

俞涤炯

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-09-11	公开	公开
2018-10-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20180604

共 50 条

[1]

一种晶圆及蓝宝石基片切边检测装置 [P].

刘志强 ;

夏伟 ;

陈再红 ;

李正贤 ;

丁天祥 .

中国专利 :CN208189547U ,2018-12-04

[2]

一种晶圆及蓝宝石基片切边检测装置 [P].

刘志强 ;

夏伟 ;

陈再红 ;

李正贤 ;

丁天祥 .

中国专利 :CN108520861B ,2024-11-26

[3]

蓝宝石晶棒检测装置 [P].

翟剑庞 ;

姜建伟 ;

蹇敦亮 .

中国专利 :CN206258389U ,2017-06-16

[4]

蓝宝石晶棒检测装置 [P].

许永峰 ;

宋亚滨 ;

翟虎 ;

陆继波 ;

潘涛 ;

陈桥玉 .

中国专利 :CN218157920U ,2022-12-27

[5]

一种蓝宝石晶棒检测装置 [P].

唐辉 .

中国专利 :CN215263201U ,2021-12-21

[6]

一种蓝宝石晶棒检测装置 [P].

任玉建 ;

宁敏 ;

于国建 .

中国专利 :CN203658283U ,2014-06-18

[7]

一种蓝宝石晶棒检测装置 [P].

翟剑庞 ;

姜建伟 ;

蹇敦亮 .

中国专利 :CN106501262A ,2017-03-15

[8]

一种蓝宝石晶棒应力检测装置 [P].

邓伟雄 ;

张金穗 ;

邓伟强 ;

黄俊惠 ;

李国军 .

中国专利 :CN214843748U ,2021-11-23

[9]

一种蓝宝石晶棒应力检测装置 [P].

宁敏 ;

任玉建 ;

高玉强 .

中国专利 :CN203658276U ,2014-06-18

[10]

蓝宝石晶棒晶轴检测定位装置 [P].

吴康 ;

白松玮 ;

马玉姣 ;

鲁晓荣 .

中国专利 :CN106352816A ,2017-01-25

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