平面锂靶材组件的制造方法和设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910015660.X

申请日：

2019-01-08

公开(公告)号：

CN111411329A

公开(公告)日：

2020-07-14

发明(设计)人：

齐大志程滋平杨诚陈强牟瀚波吴春敢刘慧芳代春雨

申请人：

申请人地址：

300457 天津市滨海新区西区新业九街100号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

B23K2014 B23K2000

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

贺卫国

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-07-14	公开	公开
2020-08-07	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20190108

共 50 条

[1]

制造平面锂靶材组件的设备 [P].

齐大志 ;

程滋平 ;

杨诚 ;

陈强 ;

牟瀚波 ;

吴春敢 ;

刘慧芳 ;

代春雨 .

中国专利 :CN209906873U ,2020-01-07

[2]

锂靶材组件的制造方法 [P].

齐大志 ;

刘慧芳 ;

程滋平 ;

陈强 ;

牟瀚波 ;

杨诚 ;

吴春敢 .

中国专利 :CN111411330B ,2020-07-14

[3]

一种旋转锂靶材组件的制造方法 [P].

齐大志 ;

程滋平 ;

刘慧芳 ;

陈强 ;

牟瀚波 ;

吴春敢 .

中国专利 :CN118081292A ,2024-05-28

[4]

一种平面锂靶材的制备方法 [P].

张灵杰 .

中国专利 :CN113523298A ,2021-10-22

[5]

靶材组件的制造方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

王学泽 ;

段高林 .

中国专利 :CN107755837B ,2018-03-06

[6]

靶材组件的制造方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

王学泽 ;

廖培君 .

中国专利 :CN108202180A ,2018-06-26

[7]

钽靶材及钽靶材组件的制造方法 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

陈勇军 .

中国专利 :CN103572225A ,2014-02-12

[8]

钽靶材及钽靶材组件的制造方法 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

陈勇军 .

中国专利 :CN103572223A ,2014-02-12

[9]

镍靶材及镍靶材组件的制造方法 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

袁海军 .

中国专利 :CN103572224B ,2014-02-12

[10]

一种旋转锂靶材组件的制备方法 [P].

李良彬 ;

胡冰 ;

庞天旭 ;

钟富裕 ;

刘高炜 ;

邹力 ;

魏华 .

中国专利 :CN113913759A ,2022-01-11

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