等离子干蚀刻机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721038146.0

申请日：

2017-08-17

公开(公告)号：

CN207217464U

公开(公告)日：

2018-04-10

发明(设计)人：

杨建王雪刚寇鸿斌

申请人：

申请人地址：

518052 广东省深圳市龙岗区横岗街道龙岗大道8288号大运软件小镇43栋

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

黄德海

法律状态：

专利权质押合同登记的生效、变更及注销

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-06	专利权质押合同登记的生效、变更及注销	专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 登记号:Y2020980006952 登记生效日:20201020 出质人:深圳柔宇显示技术有限公司质权人:中信银行股份有限公司深圳分行实用新型名称:等离子干蚀刻机申请日:20170817 授权公告日:20180410
2020-04-10	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01J 37/32 登记生效日:20200324 变更事项:专利权人变更前权利人:深圳市柔宇科技有限公司变更后权利人:深圳柔宇显示技术有限公司变更事项:地址变更前权利人:518052 广东省深圳市龙岗区横岗街道龙岗大道8288号大运软件小镇43栋变更后权利人:518000 广东省深圳市龙岗区坪地街道丁山河路18号柔宇国际柔性显示基地
2018-04-10	授权	授权

共 50 条

[1]

等离子蚀刻机 [P].

崔熙焕 ;

姜聖哲 ;

金湘甲 .

中国专利 :CN1591792A ,2005-03-09

[2]

等离子蚀刻装置及等离子蚀刻系统 [P].

丁雪苗 ;

赵公魄 ;

赵芝强 .

中国专利 :CN212517132U ,2021-02-09

[3]

一种微波等离子蚀刻机 [P].

廖鑫 ;

郭明亮 ;

易先德 .

中国专利 :CN212725237U ,2021-03-16

[4]

等离子蚀刻设备 [P].

申度旭 .

中国专利 :CN213781984U ,2021-07-23

[5]

等离子蚀刻电极 [P].

崔健 ;

许赞 ;

朴永哲 .

中国专利 :CN223501806U ,2025-10-31

[6]

一种等离子蚀刻机 [P].

曹婷 ;

张爽 .

中国专利 :CN221970481U ,2024-11-08

[7]

等离子蚀刻装置及等离子蚀刻系统 [P].

丁雪苗 ;

赵公魄 ;

赵芝强 .

中国专利 :CN111900112A ,2020-11-06

[8]

等离子蚀刻装置及等离子蚀刻方法 [P].

张朋兵 ;

王兆祥 ;

涂乐义 ;

梁洁 ;

唐乐 ;

顾橙蕾 .

中国专利 :CN118471897B ,2024-11-05

[9]

等离子蚀刻方法及等离子蚀刻装置 [P].

八重樫英民 ;

本田昌伸 ;

清水昭贵 .

中国专利 :CN102194664A ,2011-09-21

[10]

等离子蚀刻装置及等离子蚀刻方法 [P].

张朋兵 ;

王兆祥 ;

涂乐义 ;

梁洁 ;

唐乐 ;

顾橙蕾 .

中国专利 :CN118471897A ,2024-08-09

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