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一种用于晶圆盒的充气系统
被引：0
申请号：
CN202123107746.7
申请日：
2021-12-06
公开(公告)号：
CN216447917U
公开(公告)日：
2022-05-06
发明(设计)人：
刘立军
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市吴中经济开发区南湖路66号8幢101室
IPC主分类号：
F17D104
IPC分类号：
H01L21673
代理机构：
苏州创元专利商标事务所有限公司 32103
代理人：
陈婷婷
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-05-06 | 授权 | 授权 |