排气装置及排气方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911218823.0

申请日：

2019-12-03

公开(公告)号：

CN111265956B

公开(公告)日：

2020-06-12

发明(设计)人：

守屋知巳

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

B01D5326

IPC分类号：

B01D5304 B01D4612

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

常海涛;金小芳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-12	公开	公开
2023-02-03	授权	授权
2021-08-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B01D 50/00 申请日:20191203

共 50 条

[1]

排气方法及排气装置 [P].

王有松 .

中国专利 :CN114871385A ,2022-08-09

[2]

排气方法及排气装置 [P].

王有松 .

中国专利 :CN114871385B ,2024-01-02

[3]

排气装置及排气系统 [P].

李锋 ;

吴桐 ;

李健城 .

中国专利 :CN222851400U ,2025-05-09

[4]

排气装置及排气系统 [P].

胡利斌 ;

何国华 ;

朱毅 ;

庞成鑫 ;

何伟杰 .

中国专利 :CN215566186U ,2022-01-18

[5]

排气装置、处理装置以及排气方法 [P].

永关一也 ;

茂山和基 ;

松田俊也 ;

古谷直一 ;

大下辰郎 .

中国专利 :CN110010437B ,2019-07-12

[6]

排气装置、包括该排气装置的基板处理装置以及排气方法 [P].

朴正 .

中国专利 :CN101261456A ,2008-09-10

[7]

废气处理装置及排气装置 [P].

姜翠凤 ;

庞绍平 ;

李朝 ;

李卓健 .

中国专利 :CN106731619A ,2017-05-31

[8]

废气处理装置及排气装置 [P].

姜翠凤 ;

李朝 ;

朱静 ;

王金山 .

中国专利 :CN206597448U ,2017-10-31

[9]

排气装置及其排气方法 [P].

刘瑞峡 ;

蒋永强 ;

谢雄 ;

邹志励 ;

向绍斌 ;

商智健 ;

郝俊飞 ;

简立鸿 ;

张运龙 ;

吴超 ;

余洋 ;

孙承浩 ;

隆茂田 ;

李靖 ;

刘海洋 ;

刘世银 .

中国专利 :CN120251908A ,2025-07-04

[10]

真空排气装置、真空排气方法及基板处理装置 [P].

井上俊哉 ;

桥本建治 ;

山本昌弘 .

中国专利 :CN102713287A ,2012-10-03

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