镀膜硅片分选系统及硅片镀膜系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020893115.9

申请日：

2020-05-25

公开(公告)号：

CN212733114U

公开(公告)日：

2021-03-19

发明(设计)人：

李荣瑞刘昌杰苏晶晶侯玉

申请人：

申请人地址：

215011 江苏省苏州市苏州高新区鹿山路199号

IPC主分类号：

B07C5342

IPC分类号：

B07C504 B07C502 B07C538 H01L2167

代理机构：

苏州携智汇佳专利代理事务所(普通合伙) 32278

代理人：

解瑛

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-19	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片清洗分选系统 [P].

但汉满 .

中国专利 :CN208695641U ,2019-04-05

[2]

硅片分选方法及分选系统 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN119733684A ,2025-04-01

[3]

硅片测试分选系统 [P].

何金峰 ;

冯志城 .

中国专利 :CN306204366S ,2020-12-01

[4]

一种硅片分选系统 [P].

张晋禄 ;

王磊 ;

王书礼 ;

孔令斌 ;

董远鹏 ;

王鹏飞 ;

刘洋 .

中国专利 :CN222984575U ,2025-06-17

[5]

一种载板及硅片镀膜系统 [P].

葛亚军 ;

龙永灯 ;

杨苗 ;

曲铭浩 ;

徐希翔 .

中国专利 :CN217077785U ,2022-07-29

[6]

全自动硅片分选系统 [P].

朱洪伟 .

中国专利 :CN305919339S ,2020-07-14

[7]

镀膜后硅片缺陷检测分选设备 [P].

孙智权 ;

童钢 ;

赵不贿 ;

张千 ;

周奇 .

中国专利 :CN204866575U ,2015-12-16

[8]

尺寸检测装置及硅片分选系统 [P].

谢龙辉 ;

吴霏霏 ;

张夫明 ;

李贞周 ;

高莺旗 .

中国专利 :CN118635155B ,2024-12-13

[9]

尺寸检测装置及硅片分选系统 [P].

谢龙辉 ;

吴霏霏 ;

张夫明 ;

李贞周 ;

高莺旗 .

中国专利 :CN118635155A ,2024-09-13

[10]

一种硅片载片框及硅片镀膜系统 [P].

吉克超 ;

徐冠群 ;

郑傲然 .

中国专利 :CN216972666U ,2022-07-15

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