一种真空抽气装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201821551563.X
申请日
2018-09-21
公开(公告)号
CN209016022U
公开(公告)日
2019-06-21
发明(设计)人
刘二强 马文军 张银库 潘二锋 徐日辉 王富卫 李冰
申请人
申请人地址
037000 山西省大同市云州街东延北侧7899号
IPC主分类号
H01L2167
IPC分类号
H01L3118 F04B3714
代理机构
北京风雅颂专利代理有限公司 11403
代理人
李莎
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种真空抽气装置 [P]. 
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