一种分子泵在线调试系统及调试方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201910468344.8
申请日
2019-05-31
公开(公告)号
CN112012941A
公开(公告)日
2020-12-01
发明(设计)人
董欣 郁晋军 刘敏强
申请人
申请人地址
101111 北京市通州区兴光四街1号院7号楼1层01-135
IPC主分类号
F04D1904
IPC分类号
F04D2700 F04D2966
代理机构
北京天驰君泰律师事务所 11592
代理人
孟锐
法律状态
发明专利申请公布后的驳回
国省代码
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