抗反射涂料组合物及其工艺方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201080054063.5

申请日：

2010-12-23

公开(公告)号：

CN102630246B

公开(公告)日：

2012-08-08

发明(设计)人：

M·D·拉赫曼 D·麦肯齐姚晖蓉赵俊衍易毅林观阳

申请人：

申请人地址：

德国达姆施塔特

IPC主分类号：

C09D16500

IPC分类号：

C08K513 G03F709 H01L21027

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：

刘明海

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-08-08	公开	公开
2016-05-11	授权	授权
2015-05-13	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101715169276 IPC(主分类):C09D 165/00 专利申请号:2010800540635 变更事项:申请人变更前权利人:AZ电子材料美国公司变更后权利人:默克专利有限公司变更事项:地址变更前权利人:美国新泽西变更后权利人:德国达姆施塔特登记生效日:20150423
2012-12-05	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101359523781 IPC(主分类):C09D 165/00 专利申请号:2010800540635 申请日:20101223

共 50 条

[1]

抗反射涂料组合物 [P].

金羽圭 ;

吴恒鹏 ;

D·J·阿布达拉 ;

M·内瑟 ;

卢炳宏 ;

张汝志 ;

M·D·拉曼 .

中国专利 :CN101529336A ,2009-09-09

[2]

抗反射涂料组合物 [P].

金羽圭 ;

吴恒鹏 ;

D·J·阿布达拉 ;

M·内瑟 ;

卢炳宏 ;

张汝志 ;

M·D·拉曼 .

中国专利 :CN103353706A ,2013-10-16

[3]

底层抗反射涂料组合物及其方法 [P].

工藤隆范 ;

A·D·迪奥塞斯 ;

E·W·恩格 ;

S·查克拉帕尼 ;

M·帕德马纳班 .

中国专利 :CN103597043B ,2014-02-19

[4]

抗反射涂料组合物 [P].

D·麦肯齐 ;

D·阿布达拉 ;

A·G·蒂姆科 ;

M·D·拉赫曼 .

中国专利 :CN102016719A ,2011-04-13

[5]

抗反射涂料组合物及其方法 [P].

M·D·拉曼 ;

工藤隆范 ;

A·D·迪尔西斯 ;

D·麦克肯兹 ;

C·安雅狄格伍 ;

M·派德曼娜斑 ;

S·K·穆伦 .

中国专利 :CN106170737B ,2016-11-30

[6]

有机抗反射涂料聚合物,抗反射涂料组合物及其制备方法 [P].

洪圣恩 ;

郑旼镐 ;

郑载昌 ;

李根守 ;

白基镐 .

中国专利 :CN1331256A ,2002-01-16

[7]

有机抗反射涂料聚合物,抗反射涂料组合物及其制备方法 [P].

洪圣恩 ;

郑旼镐 ;

郑载昌 ;

李根守 ;

白基镐 .

中国专利 :CN1982388A ,2007-06-20

[8]

有机抗反射涂料聚合物,抗反射涂料组合物及其制备方法 [P].

洪圣恩 ;

郑旼镐 ;

郑载昌 ;

李根守 ;

白基镐 .

中国专利 :CN1974697B ,2007-06-06

[9]

有机抗反射涂料聚合物,抗反射涂料组合物及其制备方法 [P].

洪圣恩 ;

郑旼镐 ;

郑载昌 ;

李根守 ;

白基镐 .

中国专利 :CN1331253A ,2002-01-16

[10]

抗反射涂料组合物 [P].

J·E·奥伯兰德 .

中国专利 :CN101490622A ,2009-07-22

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