涂覆基板的方法和涂覆基板的涂覆设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980099178.7

申请日：

2019-08-09

公开(公告)号：

CN114207181A

公开(公告)日：

2022-03-18

发明(设计)人：

马库斯·哈尼卡朴炫灿

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

H01J3734 C23C1456

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20190809
2022-03-18	公开	公开

共 50 条

[1]

涂覆基板的方法、制造显示器的方法和涂覆基板的涂覆设备 [P].

马库斯·哈尼卡 ;

朴炫灿 .

美国专利 :CN114207181B ,2024-09-24

[2]

涂覆源、涂覆设备以及用于涂覆基板的方法 [P].

安德烈亚斯·卢德维格 ;

塞尔吉·博罗丁 .

德国专利 :CN118434906A ,2024-08-02

[3]

涂覆方法和涂覆设备 [P].

塞缪尔·A·库珀 ;

约瑟夫·W·达格特 .

中国专利 :CN1441923A ,2003-09-10

[4]

涂覆设备和涂覆方法 [P].

平井政则 .

中国专利 :CN108025327A ,2018-05-11

[5]

涂覆设备和涂覆方法 [P].

石原治彦 ;

佐藤强 ;

大城健一 .

中国专利 :CN103008175A ,2013-04-03

[6]

涂覆设备和涂覆方法 [P].

山中昭浩 .

中国专利 :CN109641229B ,2019-04-16

[7]

涂覆衬底的方法和涂覆设备 [P].

卡特琳·费舍尔 ;

佛罗莱恩·帕利奇卡 ;

约翰内斯·普拉滕 ;

金子健人 .

中国专利 :CN105457860A ,2016-04-06

[8]

涂覆的方法及涂覆设备 [P].

成巍 ;

马新强 ;

马庆增 ;

任远 .

中国专利 :CN109174577A ,2019-01-11

[9]

涂覆设备、处理腔室和涂覆基板的方法以及用至少一个材料层涂覆的基板 [P].

W·布劳恩 ;

J·曼哈特 .

德国专利 :CN118241168A ,2024-06-25

[10]

涂覆设备、处理腔室和涂覆基板的方法以及用至少一个材料层涂覆的基板 [P].

W·布劳恩 ;

J·曼哈特 .

德国专利 :CN113227443B ,2024-03-15

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