晶圆表面缺陷检测及表面修复方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011542963.6

申请日：

2020-12-23

公开(公告)号：

CN112735964A

公开(公告)日：

2021-04-30

发明(设计)人：

梁斐赵长林胡胜

申请人：

申请人地址：

430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

H01L2102 H01L2118

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

曹廷廷

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20201223
2021-04-30	公开	公开

共 50 条

[1]

一种晶圆表面缺陷检测装置及晶圆表面缺陷检测方法 [P].

李守龙 ;

刘建华 ;

路中升 ;

罗强 .

中国专利 :CN113358662A ,2021-09-07

[2]

晶圆表面缺陷检测方法及装置 [P].

刘立拓 ;

宋晓娇 ;

王驾驭 ;

王娜 ;

王盛阳 .

中国专利 :CN116840260B ,2024-05-10

[3]

IC晶圆表面缺陷检测方法 [P].

刘西锋 ;

胡玉薇 .

中国专利 :CN108648168A ,2018-10-12

[4]

晶圆表面缺陷检测系统 [P].

江静 ;

包峰 .

中国专利 :CN217822662U ,2022-11-15

[5]

晶圆表面缺陷检测装置 [P].

张武杰 .

中国专利 :CN120213941A ,2025-06-27

[6]

晶圆表面缺陷的检测方法及装置 [P].

顾颂 .

中国专利 :CN102054724A ,2011-05-11

[7]

晶圆表面缺陷检测方法及其装置 [P].

王上棋 ;

陈苗霈 ;

吴翰宗 ;

蔡佳琪 ;

李依晴 .

中国专利 :CN115127999A ,2022-09-30

[8]

晶圆表面缺陷检测方法和设备 [P].

石强 .

中国专利 :CN113344886A ,2021-09-03

[9]

版图、晶圆AOI检测标准片及晶圆表面缺陷检测方法 [P].

闫波 .

中国专利 :CN117038664B ,2024-06-04

[10]

晶圆表面缺陷的视觉检测方法及系统 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN117808809A ,2024-04-02

← 1 2 3 4 5 →