电子束熔炼高效去除多晶硅中杂质氧的装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201320745900.X
申请日
2013-11-22
公开(公告)号
CN203699922U
公开(公告)日
2014-07-09
发明(设计)人
王登科 郭校亮 姜大川 安广野 谭毅
申请人
申请人地址
266234 山东省青岛市即墨市普东镇太阳能产业基地
IPC主分类号
C01B33037
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
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国省代码
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共 50 条
[1]
电子束熔炼高效去除多晶硅中杂质氧的方法及其装置 [P]. 
姜大川 ;
王登科 ;
郭校亮 ;
安广野 ;
谭毅 .
中国专利 :CN104649276B ,2015-05-27
[2]
电子束连续熔炼去除多晶硅中氧杂质的装置 [P]. 
王登科 ;
姜大川 ;
安广野 ;
郭校亮 ;
谭毅 .
中国专利 :CN203699921U ,2014-07-09
[3]
电子束连续熔炼去除多晶硅中氧杂质的方法及其装置 [P]. 
王登科 ;
姜大川 ;
安广野 ;
郭校亮 ;
谭毅 .
中国专利 :CN104649274A ,2015-05-27
[4]
电子束熔炼液态硅除氧的装置 [P]. 
王登科 ;
安广野 ;
郭校亮 ;
姜大川 ;
谭毅 .
中国专利 :CN203699923U ,2014-07-09
[5]
一种电子束熔炼去除多晶硅铸锭底料中杂质氧的方法 [P]. 
姜大川 ;
郭校亮 ;
安广野 ;
王登科 ;
谭毅 .
中国专利 :CN104649277A ,2015-05-27
[6]
电子束熔炼液态硅除氧的方法及其装置 [P]. 
谭毅 ;
姜大川 ;
安广野 ;
郭校亮 ;
王登科 .
中国专利 :CN103738965A ,2014-04-23
[7]
一种多晶硅提纯用电子束熔炼高效装置 [P]. 
刘应宽 ;
盛之林 ;
刘振远 ;
郑杰 ;
尹中荣 ;
蒋宁雄 ;
刘永贵 .
中国专利 :CN202175565U ,2012-03-28
[8]
一种电子束熔炼去除多晶硅中杂质砷的方法 [P]. 
李鹏廷 ;
孟剑雄 ;
王峰 ;
姚玉杰 .
中国专利 :CN107055546A ,2017-08-18
[9]
电子束熔炼高效去除硅中杂质磷的方法及装置 [P]. 
战丽姝 ;
谭毅 ;
董伟 ;
李国斌 .
中国专利 :CN101941698B ,2011-01-12
[10]
一种电子束过热熔炼去除多晶硅中金属杂质的方法和装置 [P]. 
姜大川 ;
石爽 ;
王登科 ;
谭毅 .
中国专利 :CN104556050A ,2015-04-29