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一种药液喷嘴的清洗装置及清洗平台

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201420142270.1
申请日：
2014-03-27
公开(公告)号：
CN204148064U
公开(公告)日：
2015-02-11
发明(设计)人：
徐佳 张弢 刘鹏
申请人：
申请人地址：
201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号
IPC主分类号：
B05B1502
IPC分类号：
代理机构：
上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275
代理人：
吴世华;林彦之
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2015-02-11 授权 授权
共 50 条
[1]
一种药液喷嘴的清洗装置及清洗平台 [P]. 
张美纯 .
中国专利 :CN206631830U ,2017-11-14
[2]
药液喷嘴清洗装置 [P]. 
张垚 ;
巫黄蓉 .
中国专利 :CN221638561U ,2024-09-03
[3]
一种喷嘴清洗装置及清洗方法 [P]. 
尹宁 .
中国专利 :CN106513355A ,2017-03-22
[4]
一种石英喷嘴清洗装置及清洗方法 [P]. 
汪剑勇 .
中国专利 :CN121082589A ,2025-12-09
[5]
喷嘴清洗方法、喷嘴清洗装置及自动分析装置 [P]. 
黑田显久 ;
小林光久 ;
加濑仁启 ;
大川保 .
中国专利 :CN101688877B ,2010-03-31
[6]
喷嘴清洗装置及晶圆清洗装置 [P]. 
王春峰 .
中国专利 :CN207357663U ,2018-05-15
[7]
改善单片清洗机的喷嘴工艺的方法、喷嘴清洗装置 [P]. 
王春伟 ;
李阳柏 ;
张传民 ;
陈建维 .
中国专利 :CN106449481A ,2017-02-22
[8]
一种喷嘴清洗装置 [P]. 
彭军军 .
中国专利 :CN207044925U ,2018-02-27
[9]
喷嘴清洗装置 [P]. 
林佳文 ;
庄文锋 .
中国专利 :CN110064636A ,2019-07-30
[10]
一种喷嘴清洗装置及清洗喷嘴的方法 [P]. 
陈洁 .
中国专利 :CN117358671A ,2024-01-09
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