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研磨液流量闭环控制系统
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920491632.0
申请日：
2019-04-12
公开(公告)号：
CN209590647U
公开(公告)日：
2019-11-05
发明(设计)人：
郑东
李长生
申请人：
申请人地址：
266114 山东省青岛市城阳区高新区河东路383号
IPC主分类号：
G05D706
IPC分类号：
代理机构：
青岛发思特专利商标代理有限公司 37212
代理人：
巩同海
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-11-05 | 授权 | 授权 |
| 2022-11-25 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G05D 7/06 变更事项:专利权人 变更前:青岛鑫嘉星电子科技股份有限公司 变更后:青岛鑫嘉星电子科技有限公司 变更事项:地址 变更前:266114 山东省青岛市城阳区高新区河东路383号 变更后:266114 山东省青岛市城阳区高新区河东路383号 |
| 2022-11-25 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G05D 7/06 变更事项:专利权人 变更前:青岛鑫嘉星电子科技有限公司 变更后:青岛华芯晶电科技有限公司 变更事项:地址 变更前:266114 山东省青岛市城阳区高新区河东路383号 变更后:266114 山东省青岛市城阳区高新区河东路383号 |