基于多结构耦合的微型电场传感器及其制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201910896672.8
申请日
2019-09-20
公开(公告)号
CN112540239B
公开(公告)日
2021-03-23
发明(设计)人
彭春荣 修日 任仁 毋正伟 夏善红
申请人
申请人地址
100190 北京市海淀区北四环西路19号
IPC主分类号
G01R2912
IPC分类号
代理机构
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人
吴梦圆
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
灵敏度可调节的谐振微型电场传感器 [P]. 
彭春荣 ;
修日 ;
毋正伟 ;
任仁 ;
夏善红 .
中国专利 :CN110940866A ,2020-03-31
[2]
谐振式微型电场传感器 [P]. 
彭春荣 ;
夏善红 .
中国专利 :CN101685119B ,2010-03-31
[3]
异型电极微型电场传感器 [P]. 
夏善红 ;
杨鹏飞 ;
彭春荣 .
中国专利 :CN102445604B ,2012-05-09
[4]
微型电场传感器 [P]. 
李鹏 ;
田兵 ;
骆柏锋 ;
尹旭 ;
吕前程 ;
刘仲 ;
张佳明 ;
陈仁泽 ;
樊小鹏 ;
王志明 ;
孙宏棣 ;
林力 ;
徐振恒 ;
韦杰 ;
谭则杰 ;
林秉章 .
中国专利 :CN115586380B ,2024-01-23
[5]
微型电场传感器 [P]. 
李鹏 ;
田兵 ;
骆柏锋 ;
尹旭 ;
吕前程 ;
刘仲 ;
张佳明 ;
陈仁泽 ;
樊小鹏 ;
王志明 ;
孙宏棣 ;
林力 ;
徐振恒 ;
韦杰 ;
谭则杰 ;
林秉章 .
中国专利 :CN115586380A ,2023-01-10
[6]
压阻式微型电场传感器及其制备方法、电场传感器 [P]. 
彭春荣 ;
李嘉晨 ;
郑凤杰 ;
毋正伟 ;
任仁 ;
吕曜 .
中国专利 :CN113092885A ,2021-07-09
[7]
振动电容式微型电场传感器及其制备方法、电场传感器 [P]. 
彭春荣 ;
李嘉晨 ;
郑凤杰 ;
毋正伟 ;
任仁 ;
夏善红 ;
吕曜 .
中国专利 :CN113125865A ,2021-07-16
[8]
微型电场传感器 [P]. 
夏善红 ;
高雅浩 ;
刘向明 ;
彭思敏 ;
雷虎成 ;
刘俊 .
中国专利 :CN113960380A ,2022-01-21
[9]
一种微型电场传感器结构 [P]. 
叶天翔 ;
王喆垚 .
中国专利 :CN103713203A ,2014-04-09
[10]
热驱动微型电场传感器 [P]. 
夏善红 ;
陈贤祥 ;
白强 ;
陈绍凤 .
中国专利 :CN100409014C ,2006-09-06