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一种半导体扩散炉花篮传送治具
被引：0
申请号：
CN202122879384.7
申请日：
2021-11-23
公开(公告)号：
CN216563050U
公开(公告)日：
2022-05-17
发明(设计)人：
程宪良
申请人：
申请人地址：
214000 江苏省无锡市新吴区硕放街道经发九路1号
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
H01L2168
代理机构：
无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262
代理人：
张秀芳
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-05-17 | 授权 | 授权 |