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加工装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011369778.1
申请日：
2020-11-30
公开(公告)号：
CN112992724A
公开(公告)日：
2021-06-18
发明(设计)人：
汤泽治信 藤江健一
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L21677
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
于靖帅;黄纶伟
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-06-18 公开 公开
2022-11-18 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20201130
共 50 条
[1]
加工装置 [P]. 
大高小由纪 .
中国专利 :CN111293055A ,2020-06-16
[2]
加工装置 [P]. 
大高小由纪 .
日本专利 :CN111293055B ,2025-03-14
[3]
加工装置 [P]. 
小岛芳昌 ;
名嘉真惇 ;
花岛聪 .
中国专利 :CN113146064A ,2021-07-23
[4]
激光加工装置 [P]. 
林尚久 ;
清水政二 .
中国专利 :CN103286441A ,2013-09-11
[5]
加工装置 [P]. 
川口吉洋 ;
政田孝行 ;
相川真纪 .
中国专利 :CN113635157A ,2021-11-12
[6]
加工装置 [P]. 
大森崇史 .
中国专利 :CN114551233A ,2022-05-27
[7]
加工装置 [P]. 
久保徹雄 .
中国专利 :CN113427339A ,2021-09-24
[8]
加工装置 [P]. 
赤羽厚纪 .
中国专利 :CN115365919A ,2022-11-22
[9]
加工装置 [P]. 
寺田一贵 .
日本专利 :CN112643512B ,2024-03-12
[10]
加工装置 [P]. 
关家一马 ;
藤田敦史 ;
吉田干 .
中国专利 :CN102610542B ,2012-07-25
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