一种多晶硅生产中的三氯氢硅生产方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110459911.7

申请日：

2011-12-31

公开(公告)号：

CN102530960A

公开(公告)日：

2012-07-04

发明(设计)人：

马国栋李强王兵杨光裴艳红刘团练李峥陈宁赵文文王志远邓兆敬

申请人：

申请人地址：

300400 天津市北辰区京津路1号

IPC主分类号：

C01B33107

IPC分类号：

代理机构：

天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201

代理人：

宋洁瑾

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-09-05	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101322510656 IPC(主分类):C01B 33/107 专利申请号:2011104599117 申请日:20111231
2013-08-14	授权	授权
2012-07-04	公开	公开

共 50 条

[1]

一种多晶硅生产中的三氯氢硅生产工艺中的启炉方法 [P].

钟建伟 ;

甘居富 ;

游书华 ;

彭中 ;

王亚萍 .

中国专利 :CN109607549A ,2019-04-12

[2]

多晶硅生产方法 [P].

沈祖祥 ;

严大洲 ;

汤传斌 ;

肖荣晖 ;

毋克力 .

中国专利 :CN101372335B ,2009-02-25

[3]

多晶硅生产中的三氯氢硅提纯系统及方法 [P].

苏国良 ;

孙宝昌 ;

达伟民 ;

徐春宇 ;

阿热帕提·阿扎提 ;

郑小龙 ;

吕学谦 ;

李一诺 ;

陈建峰 ;

初广文 .

中国专利 :CN119100401A ,2024-12-10

[4]

合成多晶硅原料三氯氢硅的方法 [P].

王跃林 ;

刘莉 ;

龙成坤 .

中国专利 :CN101279734B ,2008-10-08

[5]

采用三氯氢硅和二氯二氢硅混合原料生产多晶硅的方法 [P].

文咏祥 ;

赵明 ;

文剑 ;

陈建 ;

余波 .

中国专利 :CN102642834A ,2012-08-22

[6]

一种多晶硅生产中的三氯氢硅合成的硅粉加料系统 [P].

林韬 .

中国专利 :CN202912705U ,2013-05-01

[7]

一种多晶硅生产原料及多晶硅生产方法 [P].

王姗 .

中国专利 :CN107720755A ,2018-02-23

[8]

一种多晶硅生产中氢气和三氯氢硅配比的控制方法 [P].

李宇辰 ;

江小龙 ;

马辉 ;

郭光伟 ;

陈宏博 ;

刘宏解 ;

李雪萍 ;

李明 ;

杨月龙 ;

保志强 ;

宋秀英 .

中国专利 :CN120233801A ,2025-07-01

[9]

多晶硅生产中氯硅烷脱碳工艺 [P].

杨昊 ;

何瑞 ;

薛山 ;

金广宇 .

中国专利 :CN117550612A ,2024-02-13

[10]

一种多晶硅生产方法 [P].

沈祖祥 ;

严大洲 ;

汤传斌 ;

肖荣晖 ;

毋克力 .

中国专利 :CN101372336A ,2009-02-25

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