一种用于集成电路衬底硅片的清洗剂及其制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201310527930.8
申请日
2013-10-31
公开(公告)号
CN103571665A
公开(公告)日
2014-02-12
发明(设计)人
郭万东 孟祥法 董培才
申请人
申请人地址
231600 安徽省合肥市肥东县经济开发区和平路7号
IPC主分类号
C11D1002
IPC分类号
代理机构
安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112
代理人
余成俊
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种用于集成电路衬底硅片的清洗剂及其清洗方法 [P]. 
仲跻和 .
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[6]
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[8]
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