负热膨胀系数材料在镀膜载盘中的应用及负热膨胀型载盘

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710270209.3

申请日：

2017-04-24

公开(公告)号：

CN107190244B

公开(公告)日：

2017-09-22

发明(设计)人：

彭振维林建豪王洋洋沈美玲

申请人：

申请人地址：

224700 江苏省盐城市建湖县经济开发区北京路88号

IPC主分类号：

C23C1450

IPC分类号：

C23C16458

代理机构：

南京汇恒知识产权代理事务所(普通合伙) 32282

代理人：

夏恒霞

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-17	授权	授权
2017-09-22	公开	公开
2017-10-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/50 申请日:20170424

共 50 条

[1]

负热膨胀系数材料激光合成方法 [P].

梁二军 ;

王东升 ;

晁明举 ;

袁斌 ;

阮宜斌 ;

吴天安 .

中国专利 :CN1944341A ,2007-04-11

[2]

负热膨胀材料、复合材料以及负热膨胀材料的制造方法 [P].

矶部敏宏 ;

早川裕子 ;

足立由梨 ;

上原绫介 .

中国专利 :CN111989296A ,2020-11-24

[3]

负热膨胀系数材料快速烧结合成方法 [P].

梁二军 ;

袁斌 ;

周鸿颖 .

中国专利 :CN101024580A ,2007-08-29

[4]

负热膨胀系数材料钨酸锆的合成方法 [P].

梁二军 ;

周鸿颖 .

中国专利 :CN1923705A ,2007-03-07

[5]

热膨胀抑制剂、零热膨胀材料、负热膨胀材料、热膨胀抑制方法和热膨胀抑制剂的制造方法 [P].

竹中康司 ;

高木英典 .

中国专利 :CN101023147A ,2007-08-22

[6]

使用具有负热膨胀系数的材料的叶片尖端间隙控制 [P].

纳维纳·K·P ;

拉温德拉·山卡尔·加尼格尔 ;

基肖尔·布杜穆鲁 ;

库杜姆·辛德 .

美国专利 :CN118049280A ,2024-05-17

[7]

具有负热膨胀系数的结晶化玻璃及其制造方法 [P].

金兑兴 ;

尹悳琪 ;

李康泽 ;

林炯植 ;

金杞泰 .

中国专利 :CN102432181A ,2012-05-02

[8]

薄膜材料热膨胀系数的控制方法 [P].

唐伟 ;

曾彩萍 ;

付高辉 .

中国专利 :CN110232197A ,2019-09-13

[9]

具有不同热膨胀系数的接合材料 [P].

曹培炎 ;

刘雨润 .

中国专利 :CN109416406A ,2019-03-01

[10]

一种负热膨胀系数球形粉的制备方法 [P].

李晓冬 ;

田仁兵 ;

张建平 ;

孙小耀 .

中国专利 :CN108557832A ,2018-09-21

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