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晶圆翘曲度测量装置及方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010220481.2
申请日：
2020-03-25
公开(公告)号：
CN111336914B
公开(公告)日：
2020-06-26
发明(设计)人：
王凡
申请人：
申请人地址：
430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
IPC主分类号：
G01B716
IPC分类号：
G01B530
G01B500
H01L2167
H01L2166
代理机构：
北京派特恩知识产权代理有限公司 11270
代理人：
刘恋;张颖玲
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-12-10 | 授权 | 授权 |
| 2020-07-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 7/16 申请日:20200325 |
| 2020-06-26 | 公开 | 公开 |