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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-04-06 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):C23C 4/123 变更事项:发明人 变更前:王万林 周乐君 朱晨阳 颜雄 李欢 变更后:王万林 朱晨阳 周乐君 颜雄 李欢 |
| 2018-06-08 | 授权 | 授权 |
| 2016-11-23 | 公开 | 公开 |
| 2016-12-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101692512911 IPC(主分类):C23C 4/123 专利申请号:2016104715411 申请日:20160624 |