单晶硅生长炉及其控制方法

被引：0

申请号：

CN202211341782.6

申请日：

2022-10-27

公开(公告)号：

CN115506017A

公开(公告)日：

2022-12-23

发明(设计)人：

陈俊宏

申请人：

申请人地址：

221004 江苏省徐州市经济技术开发区鑫芯路1号

IPC主分类号：

C30B2702

IPC分类号：

C30B2906

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

雷玉龙

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 27/02 申请日:20221027
2022-12-23	公开	公开

共 50 条

[1]

单晶硅生长炉及其控制方法 [P].

陈俊宏 .

中国专利 :CN115506017B ,2024-09-13

[2]

单晶硅生长炉及其控制方法 [P].

陈俊宏 .

中国专利 :CN118979305A ,2024-11-19

[3]

单晶硅生长炉 [P].

陈俊宏 .

中国专利 :CN218262828U ,2023-01-10

[4]

单晶硅生长炉及其控制方法 [P].

吕国强 ;

张奇涛 ;

王艾 ;

李太 ;

何沛霖 ;

马文会 ;

任永生 .

中国专利 :CN120537029A ,2025-08-26

[5]

单晶硅生长炉及其控制方法 [P].

付金玉 ;

耿成康 ;

马启君 ;

唐明贵 .

中国专利 :CN119685926A ,2025-03-25

[6]

单晶硅生长炉 [P].

李秦霖 ;

宋洪伟 .

中国专利 :CN106894082B ,2017-06-27

[7]

单晶硅生长炉 [P].

张志新 ;

王军 ;

安桂正 .

中国专利 :CN300933376D ,2009-05-27

[8]

单晶硅生长炉 [P].

刘磊 ;

武鹏 ;

楼杭炯 ;

王运动 ;

何金凯 ;

贾晨晨 ;

王成龙 ;

张大海 .

中国专利 :CN222935574U ,2025-06-03

[9]

单晶硅生长炉加热控制装置 [P].

孙庆真 ;

李国迪 ;

蒋明霞 .

中国专利 :CN201842898U ,2011-05-25

[10]

一种单晶硅生长炉及其控制方法 [P].

黄涛明 ;

吴建业 .

中国专利 :CN120250138A ,2025-07-04

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