分离装置及分离方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810238902.7

申请日：

2018-03-22

公开(公告)号：

CN108878280A

公开(公告)日：

2018-11-23

发明(设计)人：

杉下芳昭

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21304

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

岳雪兰

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-03-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/304 申请日:20180322
2018-11-23	公开	公开

共 50 条

[1]

分离装置及分离方法 [P].

杉下芳昭 .

中国专利 :CN108878282A ,2018-11-23

[2]

分离装置及分离方法 [P].

杉下芳昭 .

中国专利 :CN108695196A ,2018-10-23

[3]

分离装置及分离方法 [P].

杉下芳昭 .

中国专利 :CN108695195A ,2018-10-23

[4]

分离装置及分离方法 [P].

杨一杰 ;

陈欲超 .

中国专利 :CN114616054A ,2022-06-10

[5]

分离方法及分离装置 [P].

山田由香 ;

近藤康仁 ;

近藤广规 .

日本专利 :CN119452501A ,2025-02-14

[6]

分离装置及分离方法 [P].

姜岩 ;

王晓英 ;

徐一龙 ;

颜灵智 .

中国专利 :CN119425162A ,2025-02-14

[7]

分离装置及分离方法 [P].

黎源欣 ;

杨秋峰 .

中国专利 :CN101728226B ,2010-06-09

[8]

分离装置及分离方法 [P].

河崎仁彦 .

中国专利 :CN105679694A ,2016-06-15

[9]

分离装置及分离方法 [P].

杨镇在 ;

杨克勤 ;

陈世昌 ;

王正苡 ;

吴彦葶 .

中国专利 :CN109427618A ,2019-03-05

[10]

分离方法及分离装置 [P].

山本秀树 .

中国专利 :CN102689876A ,2012-09-26

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