连接元件与光刻系统的运动机构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810570888.0

申请日：

2018-06-05

公开(公告)号：

CN110568728B

公开(公告)日：

2019-12-13

发明(设计)人：

管博然纪俊洋

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

王宏婧

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-07	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20180605
2020-11-20	授权	授权
2019-12-13	公开	公开

共 50 条

[1]

脊柱固定系统的动态连接元件与包括连接元件的固定系统 [P].

多米尼克·珀蒂 ;

托马·德鲁卢特 .

中国专利 :CN101010043A ,2007-08-01

[2]

光刻系统的连接配置 [P].

D.谢弗 ;

J.普罗赫纳 ;

A.沃姆布兰德 .

中国专利 :CN107003623B ,2017-08-01

[3]

光学元件和光刻系统 [P].

E.伊娃 .

中国专利 :CN114787092A ,2022-07-22

[4]

具有热连接元件、冷连接元件和与这些连接元件相连的热管的制冷系统 [P].

马赖南·彼得·奥姆 ;

彼得·范·哈塞尔特 .

中国专利 :CN101523136A ,2009-09-02

[5]

连接元件和具有连接元件的系统 [P].

罗伯特·耶恩 ;

戴维·瓦尔德 .

德国专利 :CN118829107A ,2024-10-22

[6]

用于将人腿连接至运动机构的装置 [P].

A·柯尼希 ;

M·格罗塞-东克尔 ;

J·雅恩 ;

R·S·施莱费尔 ;

H·奥施瓦尔德 ;

O·席科尔 ;

M·克斯特尔迈尔 .

中国专利 :CN113271905A ,2021-08-17

[7]

光刻系统与方法 [P].

B.古珀特 .

中国专利 :CN110226130B ,2019-09-10

[8]

用于与管状件连接的连接元件 [P].

D·利尔什 ;

R·克尔布尔 .

中国专利 :CN101331354A ,2008-12-24

[9]

光学元件、辐射系统及光刻系统 [P].

R·栋克尔 ;

E·鲁普斯特拉 ;

H-K·尼恩惠斯 ;

B·克鲁兹卡 .

中国专利 :CN110083019B ,2019-08-02

[10]

光刻系统与在光刻系统中产生层流的设备 [P].

郑文豪 .

中国专利 :CN113325669A ,2021-08-31

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