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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-08-16 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 25/075 申请日:20190404 |
| 2021-07-16 | 授权 | 授权 |
| 2020-09-11 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):H01L 25/075 变更事项:发明人 变更前:秦胜研 马志华 刘飞宇 丁涛 支柱 变更后:秦胜妍 马志华 刘飞宇 丁涛 支柱 |
| 2019-07-23 | 公开 | 公开 |