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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2011-06-29 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 号牌文件类型代码:1611 号牌文件序号:101082687882 IPC(主分类):H01L 21/00 专利号:ZL012238376 申请日:20010516 授权公告日:20020306 期满终止日期:20110516 |
| 2002-03-06 | 授权 | 授权 |