脆性材料基板的刻划装置

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专利类型
发明
申请号
CN201310057412.4
申请日
2013-02-22
公开(公告)号
CN103288341B
公开(公告)日
2013-09-11
发明(设计)人
高松生芳 三浦善孝 富永圭介
申请人
申请人地址
日本大阪府摄津市香露园32番12号
IPC主分类号
C03B33023
IPC分类号
代理机构
北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019
代理人
寿宁;张华辉
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
脆性材料基板的刻划装置 [P]. 
冈岛康智 .
中国专利 :CN104803592B ,2015-07-29
[2]
脆性材料基板的刻划方法 [P]. 
松伏泰生 ;
中岛将雄 .
日本专利 :CN117980118A ,2024-05-03
[3]
脆性材料基板的刻划方法 [P]. 
川畑孝志 .
中国专利 :CN102617029A ,2012-08-01
[4]
脆性材料基板的刻划方法 [P]. 
川畑孝志 ;
阪口良太 ;
村上健二 .
中国专利 :CN102099169A ,2011-06-15
[5]
脆性材料基板刻划方法 [P]. 
冈本浩和 ;
山本幸司 ;
福原健司 .
中国专利 :CN102849932A ,2013-01-02
[6]
脆性材料基板的刻划用碎屑去除装置 [P]. 
西尾仁孝 .
中国专利 :CN103895115A ,2014-07-02
[7]
脆性材料基板的刻划装置和刻划方法以及切断装置和切断方法 [P]. 
江岛谷彰 ;
今出崇昭 .
中国专利 :CN112142308A ,2020-12-29
[8]
刻划脆性材料板的方法 [P]. 
A·A·阿布拉莫夫 ;
N·D·卡瓦拉奥三世 ;
M·W·凯默尔 ;
N·周 .
中国专利 :CN101811820A ,2010-08-25
[9]
刻划脆性材料板的方法 [P]. 
A·A·阿布拉莫夫 ;
N·D·卡瓦拉奥三世 ;
M·W·凯默尔 ;
N·周 .
中国专利 :CN105271689B ,2016-01-27
[10]
脆性材料基板的刻划用治具、刻划方法及分断方法 [P]. 
田村健太 ;
武田真和 ;
村上健二 .
中国专利 :CN103847033A ,2014-06-11