一种真空镀膜设备真空腔室结构

被引：0

申请号：

CN202222637078.7

申请日：

2022-10-09

公开(公告)号：

CN218175094U

公开(公告)日：

2022-12-30

发明(设计)人：

葛晓林冯庆苗东刘子安

申请人：

申请人地址：

710200 陕西省西安市经济技术开发区泾渭工业园西金路西段15号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

代理机构：

西安智大知识产权代理事务所 61215

代理人：

贺建斌

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-02-03	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 14/35 变更事项:专利权人变更前:西安泰金工业电化学技术有限公司变更后:西安泰金新能科技股份有限公司变更事项:地址变更前:710200 陕西省西安市经济技术开发区泾渭工业园西金路西段15号变更后:710200 陕西省西安市经济技术开发区泾渭工业园西金路西段15号
2022-12-30	授权	授权

共 50 条

[1]

真空腔室结构及真空镀膜设备 [P].

朱昆 ;

颜学庆 ;

曹健辉 ;

刘玮 ;

陈惠君 .

中国专利 :CN217297997U ,2022-08-26

[2]

一种新型真空镀膜设备的真空室结构 [P].

朱刚毅 ;

朱刚劲 ;

杨容军 ;

顾垂风 ;

阮汉飞 ;

伽龙 ;

戚孝群 ;

纪永生 ;

朱正录 .

中国专利 :CN218203041U ,2023-01-03

[3]

真空镀膜设备真空腔室快速冷却系统 [P].

王洪权 ;

刘晓华 ;

张朝奎 .

中国专利 :CN204369969U ,2015-06-03

[4]

一种真空腔结构及真空镀膜设备 [P].

李东升 ;

李天刚 .

中国专利 :CN223688439U ,2025-12-19

[5]

真空镀膜室及真空镀膜设备 [P].

谭立 ;

余海春 ;

戴晓东 ;

吴凯 .

中国专利 :CN222160347U ,2024-12-13

[6]

一种真空镀膜设备的真空室及真空镀膜设备 [P].

刘洁雅 .

中国专利 :CN202148346U ,2012-02-22

[7]

一种真空镀膜设备的真空室及真空镀膜设备 [P].

吕清水 .

中国专利 :CN217499396U ,2022-09-27

[8]

真空镀膜腔室及真空镀膜设备 [P].

杨海成 .

中国专利 :CN216614834U ,2022-05-27

[9]

真空镀膜设备真空腔室快速冷却系统 [P].

王洪权 ;

刘晓华 ;

张朝奎 .

中国专利 :CN104404449A ,2015-03-11

[10]

真空镀膜腔室和真空镀膜设备 [P].

左国军 ;

梁建军 ;

朱海剑 ;

杨虎 .

中国专利 :CN216006008U ,2022-03-11

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