薄膜制造方法和薄膜制造装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201180045068.6

申请日：

2011-09-13

公开(公告)号：

CN103119696A

公开(公告)日：

2013-05-22

发明(设计)人：

增田健梶沼雅彦出野琢也小田岛畅洋内田阳平邹弘纲

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

H01L21316

IPC分类号：

C01G2502 C23C16455 H01L218246 H01L27105

代理机构：

北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270

代理人：

徐川;张颖玲

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-08-03	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101736859038 IPC(主分类):H01L 21/316 专利申请号:2011800450686 申请公布日:20130522
2013-06-19	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101475923813 IPC(主分类):H01L 21/316 专利申请号:2011800450686 申请日:20110913
2013-05-22	公开	公开

共 50 条

[1]

薄膜制造方法和薄膜制造装置 [P].

增田健 ;

出野琢也 ;

梶沼雅彦 ;

小田岛畅洋 ;

内田阳平 ;

邹弘纲 .

中国专利 :CN103119697A ,2013-05-22

[2]

薄膜制造装置和薄膜制造方法 [P].

奈良圭 ;

中积诚 ;

西康孝 ;

中村有水 ;

浪平隆男 ;

高村纪充 .

中国专利 :CN107250429B ,2017-10-13

[3]

偏光薄膜的制造方法和偏光薄膜的制造装置 [P].

中原步梦 .

中国专利 :CN109975908B ,2019-07-05

[4]

薄膜制造装置、薄膜制造方法 [P].

木村孔 .

中国专利 :CN109154071A ,2019-01-04

[5]

薄膜制造装置、薄膜制造方法及薄膜 [P].

佐藤卓 ;

峯岸裕寿 .

中国专利 :CN104339623A ,2015-02-11

[6]

薄膜辊制造方法及制造装置、和薄膜辊 [P].

神崎庸辅 ;

锦博彦 .

中国专利 :CN101277886A ,2008-10-01

[7]

薄膜的制造装置和制造方法 [P].

本田和义 ;

柳智文 ;

篠川泰治 ;

末次大辅 ;

冈崎祯之 .

中国专利 :CN102272346A ,2011-12-07

[8]

薄膜的制造方法和制造装置 [P].

本田和义 ;

冈崎祯之 ;

末次大辅 .

中国专利 :CN103392025A ,2013-11-13

[9]

树脂薄膜和树脂薄膜的制造方法 [P].

北岸一志 ;

国方智 ;

宫武稔 .

中国专利 :CN103665408B ,2014-03-26

[10]

有机薄膜制造装置、有机薄膜制造方法 [P].

木村孔 .

中国专利 :CN109072415A ,2018-12-21

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