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制造装置及制造方法以及制造系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201610284030.9
申请日：
2016-04-29
公开(公告)号：
CN106098622A
公开(公告)日：
2016-11-09
发明(设计)人：
传藤胜则
石桥干司
申请人：
申请人地址：
日本京都府京都市
IPC主分类号：
H01L2178
IPC分类号：
代理机构：
北京北翔知识产权代理有限公司 11285
代理人：
郑建晖;苏萌
法律状态：
发明专利申请公布后的驳回
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-01-10 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/78 申请公布日:20161109 |
| 2016-12-07 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101690426777 IPC(主分类):H01L 21/78 专利申请号:2016102840309 申请日:20160429 |
| 2016-11-09 | 公开 | 公开 |