台面型铟镓砷探测器芯片及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011055651.2

申请日：

2020-09-30

公开(公告)号：

CN112420871B

公开(公告)日：

2021-02-26

发明(设计)人：

庄春泉刘大福李雪

申请人：

申请人地址：

214028 江苏省无锡市新吴区弘毅路10号金乾座901—910室

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

H01L310216 H01L31109

代理机构：

上海弼兴律师事务所 31283

代理人：

杨东明;金学来

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20200930
2021-07-20	授权	授权
2021-02-26	公开	公开

共 50 条

[1]

一种台面型铟镓砷探测器制备方法 [P].

朱耀明 ;

李雪 ;

龚海梅 ;

唐恒敬 ;

李淘 ;

魏鹏 ;

王云姬 ;

邓洪海 ;

刘诗嘉 ;

张在实 ;

汤亦聃 ;

乔辉 .

中国专利 :CN102376824B ,2012-03-14

[2]

一种低应力钝化的台面型延伸波长铟镓砷探测器制备方法 [P].

万露红 ;

邵秀梅 ;

李雪 ;

邓双燕 ;

曹高奇 ;

程吉凤 .

中国专利 :CN109755349B ,2019-05-14

[3]

一种延伸波长的平面型铟镓砷红外探测器芯片制备方法 [P].

杨波 ;

邓洪海 ;

朱龙源 ;

邵秀梅 ;

李雪 ;

李淘 ;

唐恒敬 ;

魏鹏 ;

王云姬 ;

龚海梅 .

中国专利 :CN103413863A ,2013-11-27

[4]

平面型侧向收集结构铟镓砷红外探测器芯片的制备方法 [P].

邓洪海 ;

郭兴龙 ;

杨清华 ;

杨波 ;

王强 ;

马青兰 ;

邵海宝 ;

王志亮 ;

尹海宏 ;

黄静 ;

李毅 ;

李雪 ;

龚海梅 .

中国专利 :CN106409939A ,2017-02-15

[5]

铟镓砷台面列阵探测器芯片的台面钝化膜及制备方法 [P].

张可锋 ;

唐恒敬 ;

吴小利 ;

徐国庆 ;

李雪 ;

朱龙源 ;

龚海梅 .

中国专利 :CN100541830C ,2008-04-30

[6]

一种台面铟镓砷探测器及其制作方法 [P].

胡艳 ;

岳爱文 ;

李晶 ;

吕晨 .

中国专利 :CN104009104A ,2014-08-27

[7]

铟镓砷探测器及其制造方法 [P].

胡艳 ;

岳爱文 ;

钟行 ;

马卫东 .

中国专利 :CN115706183A ,2023-02-17

[8]

铟镓砷红外探测器 [P].

缪国庆 ;

金亿鑫 ;

蒋红 ;

周天明 ;

宋航 .

中国专利 :CN2569347Y ,2003-08-27

[9]

铟镓砷光电探测器 [P].

史常忻 ;

王庆康 ;

李志奇 .

中国专利 :CN1023360C ,1992-09-09

[10]

铟镓砷光电探测器 [P].

史常忻 ;

王庆康 .

中国专利 :CN1039956C ,1994-03-16

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