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镀膜设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202023145825.2
申请日：
2020-12-23
公开(公告)号：
CN214115717U
公开(公告)日：
2021-09-03
发明(设计)人：
黎微明
李翔
吴兴华
申请人：
申请人地址：
214000 江苏省无锡市新吴区漓江路11号
IPC主分类号：
C23C1456
IPC分类号：
H01L3118
代理机构：
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人：
周昭
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-09-03 | 授权 | 授权 |