真空镀膜机扩散泵加热装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320690315.4

申请日：

2013-11-05

公开(公告)号：

CN203530424U

公开(公告)日：

2014-04-09

发明(设计)人：

李秀富蒋伟良

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市吴中区越溪街道前珠路1号6幢

IPC主分类号：

C23C1456

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-27	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/56 申请日:20131105 授权公告日:20140409 终止日期:20191105
2014-04-09	授权	授权

共 50 条

[1]

真空镀膜机加热设备及真空镀膜机 [P].

蒋贵霞 ;

贾建国 .

中国专利 :CN210856320U ,2020-06-26

[2]

真空镀膜机加热装置 [P].

路秀真 ;

常秀兰 ;

刘峰奇 ;

王占国 .

中国专利 :CN2707774Y ,2005-07-06

[3]

加热装置及真空镀膜机 [P].

张健宁 ;

夏健全 ;

吴洽 .

中国专利 :CN217781269U ,2022-11-11

[4]

真空镀膜机油扩散泵冷井 [P].

徐军 .

中国专利 :CN202044806U ,2011-11-23

[5]

真空镀膜机 [P].

王昆 .

中国专利 :CN209456546U ,2019-10-01

[6]

真空镀膜机 [P].

郑维隆 ;

郑裕泡 ;

李初转 ;

金影群 ;

刘中位 .

中国专利 :CN203007387U ,2013-06-19

[7]

真空镀膜机 [P].

王玉梅 .

中国专利 :CN204825037U ,2015-12-02

[8]

真空镀膜机 [P].

陈麒麟 ;

陈厚模 ;

苏超颖 ;

林静影 .

中国专利 :CN222795713U ,2025-04-25

[9]

一种镀膜机扩散泵用加热装置 [P].

安建昊 ;

唐欢欢 .

中国专利 :CN212250641U ,2020-12-29

[10]

真空镀膜出气装置及真空镀膜机 [P].

蒋贵霞 ;

贾建国 .

中国专利 :CN211112194U ,2020-07-28

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