一种基板蒸镀载具及蒸镀设备

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专利类型
实用新型
申请号
CN201720331093.5
申请日
2017-03-31
公开(公告)号
CN206887218U
公开(公告)日
2018-01-16
发明(设计)人
申永奇
申请人
申请人地址
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
IPC主分类号
C23C1450
IPC分类号
C23C1424
代理机构
北京银龙知识产权代理有限公司 11243
代理人
许静;刘伟
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
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