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离子注入装置及离子注入方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110841079.0
申请日：
2021-07-23
公开(公告)号：
CN113571402A
公开(公告)日：
2021-10-29
发明(设计)人：
黄家明
申请人：
申请人地址：
510000 广东省广州市黄埔区中新知识城凤凰五路28号
IPC主分类号：
H01J37317
IPC分类号：
H01J37147
代理机构：
上海思捷知识产权代理有限公司 31295
代理人：
罗磊
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-10-29 | 公开 | 公开 |
| 2021-11-16 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/317 申请日:20210723 |