一种铜镓靶材及其制备方法与应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111428656.X

申请日：

2021-11-26

公开(公告)号：

CN114086132A

公开(公告)日：

2022-02-25

发明(设计)人：

王兰黄宇彬阿南·辛格·迪欧达特童培云朱刘

申请人：

申请人地址：

511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C22C900 C22C103 B22D700 B22D706 H01L31032

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

颜希文;郝传鑫

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-25	公开	公开
2022-03-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20211126

共 50 条

[1]

铜镓靶材及其制备方法 [P].

文崇斌 ;

朱刘 ;

童培云 .

中国专利 :CN119372608A ,2025-01-28

[2]

一种旋转硅磷合金靶材及其制备方法与应用 [P].

周志宏 ;

周昭寅 ;

杨永添 ;

陈常清 .

中国专利 :CN115652244A ,2023-01-31

[3]

一种旋转硅磷合金靶材及其制备方法与应用 [P].

雷雨 ;

周志宏 ;

肖世洪 ;

赵明增 ;

杨永添 .

中国专利 :CN111118437A ,2020-05-08

[4]

一种硫化锌靶材及其制备方法与应用 [P].

王鹏飞 ;

罗海奇 ;

文崇斌 ;

胡智向 .

中国专利 :CN119143504A ,2024-12-17

[5]

一种IWO靶材及其制备方法与应用 [P].

刘永成 ;

陈明飞 ;

郭梓旋 ;

徐胜利 ;

江长久 ;

陈明高 ;

莫国仁 ;

王志杰 ;

李跃辉 .

中国专利 :CN113548872A ,2021-10-26

[6]

一种IWZO靶材及其制备方法与应用 [P].

陈明飞 ;

王金科 ;

刘永成 ;

郭梓旋 ;

徐胜利 ;

陈明高 ;

江长久 ;

王志杰 ;

莫国仁 ;

李跃辉 .

中国专利 :CN115572167A ,2023-01-06

[7]

一种铜铟镓旋转靶材的制备方法 [P].

徐从康 .

中国专利 :CN103317124A ,2013-09-25

[8]

一种铜靶材的制备方法 [P].

鄢展圣 ;

林志河 ;

林晓明 ;

陈辉辉 .

中国专利 :CN120696229A ,2025-09-26

[9]

用于铜铟镓硒薄膜太阳能电池的铜镓合金靶及其制备方法 [P].

庄大明 ;

张弓 ;

郑麒麟 ;

李秋芳 ;

向华 .

中国专利 :CN1719626A ,2006-01-11

[10]

铜镓合金溅射靶材的制备方法及靶材 [P].

孔伟华 .

中国专利 :CN109136635A ,2019-01-04

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