工业设备制备纳米复合超硬薄膜材料的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510041774.X

申请日：

2005-03-09

公开(公告)号：

CN100351427C

公开(公告)日：

2005-08-17

发明(设计)人：

马胜利马大衍徐可为

申请人：

申请人地址：

710049陕西省西安市咸宁路28号

IPC主分类号：

C23C16513

IPC分类号：

C23C1634 C23C1602

代理机构：

西安通大专利代理有限责任公司

代理人：

李郑建

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-05-18	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101071099480 IPC(主分类):C23C 16/513 专利号:ZL200510041774X 申请日:20050309 授权公告日:20071128 终止日期:20100309
2005-08-17	公开	公开
2007-11-28	授权	授权
2005-10-12	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

一种Si-C-N纳米复合超硬薄膜的制备方法 [P].

马胜利 ;

徐彬 ;

郭岩 ;

徐可为 .

中国专利 :CN100485083C ,2007-01-17

[2]

一种纳米复合超硬薄膜的制备方法 [P].

张玉娟 ;

杨莹泽 ;

翟玉浩 ;

张平余 .

中国专利 :CN102277556A ,2011-12-14

[3]

氮化钨基三元纳米复合超硬薄膜材料及其制备方法 [P].

杨俊峰 ;

刘庆 ;

袁志刚 ;

王伟国 ;

程帜军 ;

王先平 ;

方前锋 .

中国专利 :CN101624295B ,2010-01-13

[4]

超硬纳米复合涂层的制备PVD设备 [P].

赵俊亮 ;

李恒 ;

彭占杰 .

中国专利 :CN213266684U ,2021-05-25

[5]

一种弹性硬质润滑纳米复合薄膜材料的制备方法 [P].

郑建云 ;

郝俊英 ;

刘维民 .

中国专利 :CN105506566A ,2016-04-20

[6]

一种超硬复合薄膜材料及其制备方法 [P].

钟理铭 .

中国专利 :CN118621264A ,2024-09-10

[7]

纳米碳材料增强超硬材料基复合材料的制备方法及应用 [P].

雷君 ;

陈培 .

中国专利 :CN106830965B ,2017-06-13

[8]

纳米薄膜材料及其制备方法 [P].

卫英慧 ;

胡兰青 ;

姚敏琪 ;

许并社 ;

周禾丰 .

中国专利 :CN1339339A ,2002-03-13

[9]

超润滑复合碳薄膜材料的制备方法 [P].

陈建敏 ;

吉利 ;

李红轩 ;

周惠娣 ;

赵飞 ;

权伟龙 .

中国专利 :CN101665942A ,2010-03-10

[10]

超硬纳米复合涂层的制备PVD设备、方法及层结构 [P].

赵俊亮 ;

李恒 ;

彭占杰 .

中国专利 :CN111826626A ,2020-10-27

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