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液体供给装置以及液体供给方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810281777.8
申请日：
2018-03-29
公开(公告)号：
CN108695203A
公开(公告)日：
2018-10-23
发明(设计)人：
丰增富士彦
国泽淳次
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
李洋;舒艳君
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-02-11 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20180329 |
| 2018-10-23 | 公开 | 公开 |