集成电路制作方法以及集成电路装置

被引：0

申请号：

CN202211311228.3

申请日：

2022-10-25

公开(公告)号：

CN115513134A

公开(公告)日：

2022-12-23

发明(设计)人：

黄腾庆

申请人：

申请人地址：

215341 江苏省苏州市昆山市千灯镇黄浦江南路497号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L21288 H01L2348 H01L2352 C25D2102

代理机构：

北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287

代理人：

林斯凯

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-23	公开	公开
2023-01-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/768 申请日:20221025

共 50 条

[1]

集成电路以及制作集成电路的方法 [P].

杨海宁 ;

托马斯·W.·戴尔 ;

李伟健 .

中国专利 :CN100544001C ,2008-02-13

[2]

集成电路制造方法以及集成电路装置 [P].

凌坚 .

中国专利 :CN117497483A ,2024-02-02

[3]

集成电路制造方法以及集成电路装置 [P].

凌坚 .

中国专利 :CN117497483B ,2024-04-12

[4]

集成电路以及集成电路方法 [P].

邓儒杰 ;

许国原 .

中国专利 :CN102347066B ,2012-02-08

[5]

集成电路制作方法 [P].

杨立平 ;

陈碧成 ;

康汉彰 ;

颜仁鸿 .

中国专利 :CN101609811B ,2009-12-23

[6]

集成电路装置以及集成电路装置的编程方法 [P].

托比亚斯·比勒 ;

霍尔格·海普利克 ;

托马斯·耶瑟尼希 ;

曼弗雷德·卢埃格尔 .

中国专利 :CN100361391C ,2006-06-21

[7]

集成电路以及其制作方法 [P].

邱久容 ;

林宏展 ;

陈禹钧 .

中国专利 :CN115036373A ,2022-09-09

[8]

集成电路以及其制作方法 [P].

林大钧 ;

蔡滨祥 ;

蔡馥郁 .

中国专利 :CN118368968A ,2024-07-19

[9]

集成电路以及其制作方法 [P].

邱久容 ;

林宏展 ;

陈禹钧 .

中国专利 :CN109309085A ,2019-02-05

[10]

集成电路装置以及制备集成电路装置的方法 [P].

唐建石 ;

苏彦博 ;

史明成 ;

李怡均 ;

潘立阳 ;

张清天 ;

高滨 ;

吴华强 ;

钱鹤 .

中国专利 :CN117641908A ,2024-03-01

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