大面积周期阵列三维微结构制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200710015200.4
申请日
2007-08-07
公开(公告)号
CN100585491C
公开(公告)日
2008-01-09
发明(设计)人
兰红波 丁玉成
申请人
申请人地址
250061山东省济南市历下区经十路73号
IPC主分类号
G03F700
IPC分类号
B81C100 B81C500
代理机构
济南圣达专利商标事务所有限公司
代理人
张 勇
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
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