底部抗反射涂料组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980140489.X

申请日：

2009-10-13

公开(公告)号：

CN102187279A

公开(公告)日：

2011-09-14

发明(设计)人：

刘卫宏林观阳赵俊衍殷建 S·K·穆伦 M·内瑟

申请人：

申请人地址：

美国新泽西

IPC主分类号：

G03F709

IPC分类号：

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：

宓霞

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-09-14	公开	公开
2011-11-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101144111170 IPC(主分类):G03F 7/09 专利申请号:200980140489X 申请日:20091013
2014-02-19	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101692894394 IPC(主分类):G03F 7/09 专利申请号:200980140489X 申请公布日:20110914

共 50 条

[1]

底部抗反射涂料组合物 [P].

F·M·霍利亨 ;

宫崎真治 ;

M·O·奈塞尔 ;

A·D·迪奥赛斯 ;

J·E·奥伯兰德 .

中国专利 :CN101835735A ,2010-09-15

[2]

抗反射涂料组合物 [P].

D·麦肯齐 ;

D·阿布达拉 ;

A·G·蒂姆科 ;

M·D·拉赫曼 .

中国专利 :CN102016719A ,2011-04-13

[3]

抗反射涂料组合物 [P].

金羽圭 ;

吴恒鹏 ;

D·J·阿布达拉 ;

M·内瑟 ;

卢炳宏 ;

张汝志 ;

M·D·拉曼 .

中国专利 :CN101529336A ,2009-09-09

[4]

抗反射涂料组合物 [P].

J·E·奥伯兰德 .

中国专利 :CN101490622A ,2009-07-22

[5]

抗反射涂料组合物 [P].

金羽圭 ;

吴恒鹏 ;

D·J·阿布达拉 ;

M·内瑟 ;

卢炳宏 ;

张汝志 ;

M·D·拉曼 .

中国专利 :CN103353706A ,2013-10-16

[6]

底部抗反射涂料 [P].

陈建志 ;

张庆裕 .

中国专利 :CN112327577A ,2021-02-05

[7]

底部抗反射涂料 [P].

陈建志 ;

张庆裕 .

中国专利 :CN112327577B ,2025-02-07

[8]

抗反射涂料组合物 [P].

庄弘 ;

单槛会 ;

向中 ;

吴恒鹏 ;

殷建 .

中国专利 :CN101959980A ,2011-01-26

[9]

抗反射涂料组合物 [P].

向中 ;

单槛会 ;

殷建 ;

D·阿布达拉 .

中国专利 :CN101778876A ,2010-07-14

[10]

用于纳米光刻的有机底部抗反射涂料组合物 [P].

沈载桓 ;

S·Y·金 ;

赵廷奎 ;

H·W·李 ;

J·姜 ;

林载峰 ;

J·H·金 .

中国专利 :CN105505146A ,2016-04-20

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