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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-06-09 | 文件的公告送达 | 文件的公告送达 IPC(主分类):G02F 1/13 收件人:苏州凯蒂亚半导体制造设备有限公司 文件名称:专利权届满终止通知书 |
| 2016-04-13 | 文件的公告送达 | 文件的公告送达 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101730657125 IPC(主分类):G02F 1/13 专利号:ZL2010201571106 专利申请号:2010201571106 收件人:苏州凯蒂亚半导体制造设备有限公司 文件名称:恢复权利请求审批通知书 |
| 2015-07-01 | 文件的公告送达 | 文件的公告送达 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101717209428 IPC(主分类):G02F 1/13 专利号:ZL2010201571106 专利申请号:2010201571106 收件人:苏州凯蒂亚半导体制造设备有限公司 文件名称:缴费通知书 |
| 2011-03-23 | 授权 | 授权 |
| 2020-05-08 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 IPC(主分类):G02F 1/13 申请日:20100413 授权公告日:20110323 |
| 2016-07-13 | 文件的公告送达 | 文件的公告送达 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101735461447 IPC(主分类):G02F 1/13 专利号:ZL2010201571106 专利申请号:2010201571106 收件人:苏州凯蒂亚半导体制造设备有限公司 文件名称:缴费通知书 |