化学蒸镀原料用的有机钌化合物及该有机钌化合物的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201280024469.8

申请日：

2012-07-24

公开(公告)号：

CN103582718A

公开(公告)日：

2014-02-12

发明(设计)人：

斋藤昌幸谷内淳一中川裕文

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C1618

IPC分类号：

H01L2128 H01L21285

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

冯雅

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-12-09	授权	授权
2014-03-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101578334702 IPC(主分类):C23C 16/18 专利申请号:2012800244698 申请日:20120724
2014-02-12	公开	公开

共 50 条

[1]

化学蒸镀用有机钌化合物的回收再利用方法 [P].

原田了辅 ;

锅谷俊一 ;

重富利幸 ;

斋藤昌幸 .

中国专利 :CN104350061A ,2015-02-11

[2]

化学蒸镀用的有机铂化合物及使用该有机铂化合物的化学蒸镀方法 [P].

铃木和治 ;

锅谷俊一 ;

斋藤昌幸 .

中国专利 :CN103492399A ,2014-01-01

[3]

化学气相沉积用的有机钌化合物及使用该有机钌化合物的化学气相沉积方法 [P].

谷内淳一 ;

斋藤昌幸 ;

石田稔 .

中国专利 :CN101356181A ,2009-01-28

[4]

利用化学蒸镀法的钌薄膜或钌化合物薄膜的制造方法、以及钌薄膜或钌化合物薄膜 [P].

金秀贤 ;

小次洋平 .

韩国专利 :CN119256113A ,2025-01-03

[5]

CVD用原料化合物以及钌或钌化合物薄膜的化学气相蒸镀方法 [P].

齐藤昌幸 ;

寒江威元 .

中国专利 :CN1451780A ,2003-10-29

[6]

由有机钌化合物构成的化学蒸镀用原料及使用该化学蒸镀用原料的化学蒸镀法 [P].

原田了辅 ;

津川智广 ;

大武成行 ;

岩井辉久 ;

李承俊 .

日本专利 :CN115038810B ,2024-07-19

[7]

由有机钌化合物构成的化学蒸镀用原料及使用该化学蒸镀用原料的化学蒸镀法 [P].

原田了辅 ;

津川智广 ;

大武成行 ;

李承俊 ;

小次洋平 .

中国专利 :CN115003855A ,2022-09-02

[8]

由有机钌化合物构成的化学蒸镀用原料及使用该化学蒸镀用原料的化学蒸镀法 [P].

原田了辅 ;

津川智广 ;

大武成行 ;

李承俊 ;

小次洋平 .

日本专利 :CN115003855B ,2024-08-16

[9]

由有机钌化合物构成的化学蒸镀用原料及使用该化学蒸镀用原料的化学蒸镀法 [P].

原田了辅 ;

津川智广 ;

大武成行 ;

岩井辉久 ;

李承俊 .

中国专利 :CN115038810A ,2022-09-09

[10]

钌(Ⅱ)化合物 [P].

S·杜根 ;

A·哈布特马里亚姆 ;

M·梅尔查特 ;

P·萨德勒 .

中国专利 :CN101437831A ,2009-05-20

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