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一种制备磁性隧道结阵列的方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201611156437.X
申请日：
2016-12-14
公开(公告)号：
CN108232002B
公开(公告)日：
2018-06-29
发明(设计)人：
张云森
申请人：
申请人地址：
201800 上海市嘉定区城北路235号二号楼二层
IPC主分类号：
H01L4308
IPC分类号：
H01L4312
代理机构：
上海容慧专利代理事务所(普通合伙) 31287
代理人：
于晓菁
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-06-29 | 公开 | 公开 |
| 2018-07-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 43/08 申请日:20161214 |
| 2022-02-25 | 授权 | 授权 |