用于光罩化学制程的夹具

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201420304874.1
申请日
2014-06-09
公开(公告)号
CN203887732U
公开(公告)日
2014-10-22
发明(设计)人
杜武兵
申请人
申请人地址
518000 广东省深圳市南山区朗山路16号华瀚创新园办公楼D座102
IPC主分类号
B25B900
IPC分类号
代理机构
深圳市维邦知识产权事务所 44269
代理人
黄莉
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
用于化学制程的支架 [P]. 
杜武兵 ;
邓阿庆 .
中国专利 :CN202693993U ,2013-01-23
[2]
光罩夹具 [P]. 
杨艳全 .
中国专利 :CN203720527U ,2014-07-16
[3]
光罩夹具 [P]. 
吴建明 ;
刘攀 ;
周国栋 .
中国专利 :CN222965569U ,2025-06-10
[4]
光罩夹具 [P]. 
赖正镱 ;
程稚惠 .
中国专利 :CN220389467U ,2024-01-26
[5]
光罩夹具 [P]. 
杜武兵 ;
黄国勇 .
中国专利 :CN206057789U ,2017-03-29
[6]
光罩传送夹具 [P]. 
吴苇 .
中国专利 :CN203644751U ,2014-06-11
[7]
光罩搬运夹具 [P]. 
陈兵华 ;
孙艳杰 .
中国专利 :CN216634417U ,2022-05-31
[8]
曝光机光罩夹具 [P]. 
秦重虎 ;
郑建万 ;
傅志敏 ;
蒋雨彬 .
中国专利 :CN214751322U ,2021-11-16
[9]
一种用于真空吸取光罩的夹具 [P]. 
王磊 ;
王进钦 .
中国专利 :CN223442105U ,2025-10-17
[10]
应用于玻璃光罩的夹具及光刻系统 [P]. 
王明波 .
中国专利 :CN214335464U ,2021-10-01