一种全自动硅片清洗机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420328201.X

申请日：

2014-06-19

公开(公告)号：

CN203910837U

公开(公告)日：

2014-10-29

发明(设计)人：

陈德榜

申请人：

申请人地址：

325000 浙江省温州市经济技术开发区滨海园区滨海十路716号7号楼

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

H01L2167 B08B1100 B08B304

代理机构：

温州瓯越专利代理有限公司 33211

代理人：

李友福

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-10-29	授权	授权
2016-08-03	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101673078925 IPC(主分类):H01L 31/18 专利号:ZL201420328201X 申请日:20140619 授权公告日:20141029 终止日期:20150619

共 50 条

[1]

全自动太阳能硅片清洗机 [P].

陆惠石 .

中国专利 :CN203787392U ,2014-08-20

[2]

自动硅片清洗机 [P].

马胜南 ;

轩云喜 .

中国专利 :CN206179833U ,2017-05-17

[3]

全自动硅片清洗机 [P].

轩云喜 .

中国专利 :CN107999458B ,2018-05-08

[4]

全自动太阳能硅片清洗机 [P].

陆惠石 .

中国专利 :CN103887212A ,2014-06-25

[5]

一种全自动硅片清洗机 [P].

马胜南 .

中国专利 :CN108039331B ,2018-05-15

[6]

一种全自动硅片清洗机 [P].

蔡永礼 ;

王文和 ;

叶曲波 .

中国专利 :CN116190265B ,2025-06-27

[7]

一种硅片剥离用全自动清洗机 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN207357664U ,2018-05-15

[8]

一种硅片剥离用全自动清洗机 [P].

周琛怿 .

中国专利 :CN216937222U ,2022-07-12

[9]

全自动清洗机 [P].

李通 ;

王小勇 .

中国专利 :CN221472780U ,2024-08-06

[10]

一种硅片清洗机 [P].

林欣城 ;

徐永洋 ;

张永芳 .

中国专利 :CN222778568U ,2025-04-22

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