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一种晶圆喷砂机
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010875477.X
申请日：
2020-08-27
公开(公告)号：
CN111843860A
公开(公告)日：
2020-10-30
发明(设计)人：
姬煜
赵通
申请人：
申请人地址：
221300 江苏省徐州市邳州市经济开发区辽河路北侧、华山路西侧
IPC主分类号：
B24C332
IPC分类号：
B24C900
代理机构：
深圳至诚化育知识产权代理事务所(普通合伙) 44728
代理人：
涂柳晓
法律状态：
发明专利申请公布后的撤回
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-23 | 发明专利申请公布后的撤回 | 发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):B24C 3/32 申请公布日:20201030 |
| 2020-11-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B24C 3/32 申请日:20200827 |
| 2020-10-30 | 公开 | 公开 |